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半導体の検索結果

2009.01.30

ポリブチレンナフタレート製のCMP装置部品リテーナーリングです。

産業分野

 半導体

素材

 PBNプリブチレンナフタレート

加工方法

 マシニング加工、旋盤加工

CMP装置のリテーナーリングはPEEK、PPS材が主ですが、PBNは摩耗消耗率が低く耐久性に優れてます。板材より旋盤加工を行いマシンニング加工にて仕上げを行いますが、傷やコンダミに注意が必要です。検査では三次元測定器で計測し、内径の最大最小値を管理してます。

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